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除泡裝置/除靜電裝置

Degas除泡裝置

除泡裝置/除靜電裝置

e-Flow除靜電裝置

詳細介紹 | Detail |

Degas除泡裝置

全日本唯二TEL OEM廠製作的除泡裝置,運用在TEL TRACK機台上
除用在大家常理解的顯影液上,針對較小流量之光阻液,此產品也能滿足客戶所需之效能
用在光阻液上,可省去不必要之光阻氣跑產生時的排泡之浪費,是一個節省成本的一個產品

對應機台:MK系列,ACT8系列 ,Lithius系列機台
使用實績:光阻除泡,顯影除泡,Solvent除泡

e-Flow除靜電裝置

e-FLOW是通過中空纖維透氣膜補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。可得到防止因靜電引起的灰塵再次附著和基板圖形的防靜電破壞的效果。

■由於結構簡單,不易故障
■採用獨特的配管分配方式,易於控制電阻率值且穩定性優良
■二氧化碳供氣模組的壽命長